ITO 성막장치에서 성막공정 수행시 글라스 및 캐리어를 올리고 내리는데 사용하는 부품으로서, 실린더의 구름형식을 적용하여 캐리어 및 PEEK 마모를 획기적으로 개선하였습니다.
또한 구름운동을 부여함에 있어 크라우닝개념을 가지는 고강성 핀을 적용하므로써 PEEK 실린더의 변형을 극소화하여 수만회 이상 반복사용 후에도 초기 장착시의 위치정밀도를
유지합니다.
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