브이앤씨테크(주)

ITO 성막장치에서 성막공정 수행시 글라스 및 캐리어를 올리고 내리는데 사용하는 부품으로서, 실린더의 구름형식을 적용하여 캐리어 및 PEEK 마모를 획기적으로 개선하였습니다. 또한 구름운동을 부여함에 있어 크라우닝개념을 가지는 고강성 핀을 적용하므로써 PEEK 실린더의 변형을 극소화하여 수만회 이상 반복사용 후에도 초기 장착시의 위치정밀도를 유지합니다.

LCD/PDP 공정중에 사용되는 센서 유닛으로서 글라스 또는 모듈 카세트의 유무를 감지하기 위한 유닛입니다. 접촉부에 구름운동 방식의 볼을 채택하였고 측면 분력에 의한 횡유격의 증가로 인한 감지능력 저하를 예방하였으며, 적용환경에 따라서 센서축에 돌림방지 기능을 부여하여 반복사용시 축의 회전에 의한 감지불량을 예방하고 있습니다.

제품은 2004년 브이앤씨테크가 일본 S사에 공급한 제품입니다. 당시 S사는 글라스 대형화와 이에 따른 반송 샤프트의 장축화로 인해 축지지용 베어링의 내구 성능 향상을 위한 해결책을 찾고 있었습니다. 초기 S사의 도면은 단열 베어링을 두 개 사용하였으나 본사는 복열을 채택하고 특히 베어링의 축방향 부하능력을 향상시키고자 앵귤라 컨택타입으로 설계 하였습니다. 또한, "O" 배열을 적용하여 하중 작용점 거리를 증가시키고 모멘트 강성을 향상 시키고자 하였고 적용 재질로 내식성이 우수한 UHMW-PE, PEEK, 를 채택해 무윤활 방식으로 구성하였습니다. S사는 본사의 설계와 사양 제안을 받아들여 공급받았으며 현재 이 제품은 L사의 LCD 6세대의 세정라인에서 적용되고 있는 중입니다.